薄膜測厚儀  ME04-C1216M  庫號：M317070  

一、 方案概述 
該技術(shù)方案根據(jù)隔膜產(chǎn)品厚度測試常規(guī)方式編寫，提供的薄膜厚度儀滿足日常厚度測量技術(shù)要求，同時滿足國標(biāo)（GBT 6672-2001）規(guī)定的技術(shù)要求。薄膜厚度儀方案為多個部件的組合件，產(chǎn)品主要由C1216M 主機及其附屬件（整套系統(tǒng)由數(shù)顯箱，傳感器測頭，工作臺架和提升裝置及接口軟件）組成。 該套方案旨在滿足用戶隔膜產(chǎn)品厚度檢測要求，實現(xiàn)厚度檢測功能。 

 薄膜測厚儀  ME04-C1216M  庫號：M317070  
二、基本技術(shù)要求 
薄膜測厚儀主要用于對薄膜產(chǎn)品進行厚度檢測。 
使用地點：廠房檢驗室 
實驗環(huán)境：溫度 20±2℃ 濕度 50±5% 
基本性能應(yīng)滿足以下要求： 
1、測量厚度范圍：>3um 
2、測量精度：0.01um 
3、產(chǎn)品在使用過程中不能出現(xiàn)任何事故，性能可靠，能長周期運行。 
4、測試軟件，能夠在測試過程中直觀顯示測試數(shù)據(jù)（數(shù)據(jù)傳輸至EXCEL表格或其他用戶位置），可用于后續(xù)統(tǒng)計分析。 

 薄膜測厚儀  ME04-C1216M  庫號：M317070  
三、 薄膜測厚儀技術(shù)參數(shù)描述 
薄膜厚度儀相關(guān)組件規(guī)格及技術(shù)參數(shù)如下： 
結(jié)構(gòu)及設(shè)計特點 整套系統(tǒng)由數(shù)顯箱，傳感器測頭，工作臺架和提升裝置組成
數(shù)顯箱（C1216M）特性： 
a, 數(shù)顯箱采用LCD 顯示，帶模擬指針顯示和兩行數(shù)字顯示 
b, 5 個三色燈用于超差和處于公差極*的報警 
c, 靜態(tài)測量： ± A, ± B 和所有組合 
d, 動態(tài)測量：大值，小值，極差值，極和值，平均值 
e, 可通過按鍵或R232 接口連接設(shè)置軟件進行相關(guān)的設(shè)置與編程 
-傳感器測頭特性： 
a, 測量范圍±2mm 
b, 通過提升裝置實現(xiàn)抬升功能 
c, 測力標(biāo)準(zhǔn)為0.75N 
d, 測量精度：0.05um（±0.1mm 范圍內(nèi)） 

工作臺架（820FC）特性： 
a, 工作范圍0-110mm 
b, 底座由淬硬不銹鋼制成 
c, 支撐桿為不銹鋼材質(zhì) 

傳感器測頭（1301）特性：
工作量程：±1mm
支持手動提升線提升
大測量誤差：
0.5μm（±0.5mm 量程范圍內(nèi)） 
1μm（±1mm 量程范圍內(nèi)） 
樣品種類（儀器適用的分析樣品種類） 薄膜等
儀器的測量范圍 大量程±1mm
儀器的分辨率 0.01μm
溫度（或其它技術(shù)參數(shù)）范圍 工作于室溫狀態(tài)
儀器配置的主要附件及規(guī)格 見配置清單
測試的重復(fù)性誤差fw 0.1μm
鍵盤和顯示 LED 屏幕顯示
水、電、氣等外部條件要求 220V，50Hz，11W
外形尺寸 數(shù)顯箱：205mm x 160 mm x 165 mm 
工作臺架：155 mm x 100 mm x 216.5 mm 
重量 數(shù)顯箱：2.1Kg 工作臺架：2.6Kg
整套系統(tǒng)(數(shù)顯箱，傳感器測頭，工作臺架和提升裝置)